圖：華邦化學(xué)生產(chǎn)的“氣體純化器”產(chǎn)氣純度達到9N級，成功打破了國外長期壟斷，為多項集成電路國家重點項目提供了實際配套支持。圖為華邦化學(xué)研發(fā)人員在分析試驗參數(shù)。 受訪者供圖

　　近年來，中國大力推進新型工業(yè)化，加快制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級，涌現(xiàn)出超過14萬家專精特新中小企業(yè)，其中，專精特新“小巨人”企業(yè)達到14600多家，他們靠獨門絕活打破外國技術(shù)壟斷，往往把單一品類的“小市場”做成了享譽全球的“大生意”，進軍全球大市場。大連華邦化學(xué)就是其中之一。他們的科研團隊自2013年起深耕氣體純化器設(shè)備研究，成功打破了國外長期壟斷，研制出產(chǎn)氣純度可達9N級的國產(chǎn)氣體純化器，不僅為多項集成電路國家重點項目提供了實際配套支持，還為中芯國際、京東方、英特爾、SK海力士等國內(nèi)外行業(yè)巨頭供應(yīng)設(shè)備與服務(wù)。\大公報記者 宋偉

　　高純度氣體純化設(shè)備，對于超大規(guī)模集成電路、平面顯示器和半導(dǎo)體器件等生產(chǎn)而言，是不可或缺的關(guān)鍵配套裝備。其生產(chǎn)的氣體純度高低直接關(guān)系到光電子、微電子元器件的質(zhì)量與集成度。簡體來說，半導(dǎo)體制程中需用到特殊氣體（如氮氣、氬氣或氫氣）進行蝕刻、沉積等步驟，必須達到極高純度（例如99.9999%、6N級以上），否則微量雜質(zhì)可能導(dǎo)致晶片缺陷。

　　美歐壟斷，窒礙進步。長期以來，氣體純化器設(shè)備的生產(chǎn)技術(shù)被美國、日本、韓國等國家所壟斷，雖然國產(chǎn)氣體純化器4N-5N級與歐美發(fā)達國家6N級以上存在顯著代差，但超越突破的動能一直在積累。

　　實現(xiàn)進口替代 助力祖國攻芯

　　大連華邦化學(xué)的出現(xiàn)打破了這一局面?！拔覀兩a(chǎn)的氣體純化器產(chǎn)氣純度高達99.9999999%（9N級），技術(shù)水平達到國際一流?！毖邪l(fā)總監(jiān)錢吉博士表示。從事相關(guān)研究逾20年，錢吉帶領(lǐng)的科研團隊自2013年起便開始了創(chuàng)業(yè)之旅。如今，國產(chǎn)9N級高純度氣體純化設(shè)備不僅替代進口同類產(chǎn)品，成功打破了國外長期壟斷，更為多項集成電路國家重點項目提供了實際配套支持。

　　企業(yè)負責(zé)人劉皖南表示，華邦化學(xué)當(dāng)前在國內(nèi)外全產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)袌龈采w率超過85%、占有率突破55%，實際產(chǎn)線運行設(shè)備數(shù)量超2000臺／套。“去年，華邦化學(xué)年產(chǎn)值達5.1億元，今年前兩個月各項經(jīng)濟指標(biāo)同比增長35%，發(fā)展勢頭十分強勁。憑借卓越性能與可靠性，企業(yè)已為中芯國際、京東方、英特爾、SK海力士等國內(nèi)外行業(yè)巨頭供應(yīng)設(shè)備與服務(wù)?！?/p>

　　大國重器穿上“智能防護衣”

　　專利封鎖，倒逼創(chuàng)新。從渤海之濱一路向南，相距3000公里的南海海域，總高338.5米的亞洲第一深水導(dǎo)管架“海基二號”，正穩(wěn)穩(wěn)矗立在324米深的海床之上。鮮為人知的是，為這臺海上大國重器穿上“智能防護衣”的也是一家專注海洋科技領(lǐng)域的“小巨人”。

　　歐美長期以來壟斷高端涂層材料和防腐配套體系，采用標(biāo)準(zhǔn)壁壘、材料禁運、專利封鎖等手段，企圖制約中國海洋工程防腐抗蝕技術(shù)發(fā)展。

　　重重挑戰(zhàn)下，科邁爾科研團隊持續(xù)自主創(chuàng)新，研發(fā)出“?；枴钡腎CCP和HMS兩大系統(tǒng)。大連科邁爾研發(fā)負責(zé)人朱東旭介紹說，“‘?；枴瘜?dǎo)管架平臺有超過75%的部分在海面以下，要經(jīng)受風(fēng)浪及內(nèi)波流等惡劣海況的沖擊?？七~爾自主研發(fā)的張緊式外加電流陰極保護及監(jiān)測系統(tǒng)（ICCP）和基于數(shù)字孿生的結(jié)構(gòu)健康管理系統(tǒng)（HMS）兩大核心產(chǎn)品在“?；枴鄙习l(fā)揮作用，通過外加電流腐蝕防護、實時監(jiān)測、評估預(yù)警等數(shù)智化手段，輔助制定科學(xué)運維方案保障深水海洋平臺安全運行，就像為導(dǎo)管架平臺穿上了‘智能防護衣’。”